TPM5 sorozatú teljesítményvezérlő
-
TPM5 sorozatú teljesítményvezérlő
A TPM5 sorozatú teljesítményszabályozó a modultervezési ötletet alkalmazza, és akár 6 áramkört is integrálhat. A termékeket főként diffúziós kemencékben, PECVD-ben, epitaxiális kemencékben stb. használják.