TPM5 sorozatú tápvezérlő
-
TPM5 sorozatú tápvezérlő
A TPM5 sorozatú teljesítményvezérlő a modul tervezési ötletét alkalmazza, és akár 6 áramkört is integrál.A termékeket főként diffúziós kemencékben, PECVD-ben, epitaxiás kemencékben stb.