Mikrohullámú teljesítmény
-
Mikrohullámú tápegység
A mikrohullámú kapcsolóüzemű tápegység egy új típusú mikrohullámú tápegység, amely IGBT nagyfrekvenciás inverteres technológián alapul. Integrálja az anódos nagyfeszültségű tápegységet, az izzószálas tápegységet és a mágneses mezős tápegységet (kivéve a 3 kW-os mikrohullámú tápegységet). A hullámmagnetron biztosítja a munkakörülményeket. Ezt a terméket MPCVD-ben, mikrohullámú plazmamaratáshoz, mikrohullámú plazma-maratáshoz és más területeken használják.