Porlasztó tápegység
-
MSB sorozatú közepes frekvenciájú porlasztó tápegység
Az RHH sorozatú rádiófrekvenciás tápegység kiforrott rádiófrekvenciás generálási technológián alapul, hogy az ügyfelek számára nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyors válaszadási képességű RF tápegységet biztosítson.Fázis állítható, impulzus vezérelhető, digitális hangolás és egyéb funkciók.Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, lapos kijelző ipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott vegyi gőzleválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.
-
MSD sorozatú porlasztó tápegység
Az MSD sorozatú egyenáramú porlasztó tápegység a vállalat központi egyenáramú vezérlőrendszerét alkalmazza, kiváló ívfeldolgozási rendszerrel kombinálva, így a termék nagyon stabil teljesítményt, magas termékmegbízhatóságot, kis ívkárosodást és jó folyamat ismételhetőséget biztosít.Könnyen kezelhető kínai és angol kijelzőfelület.