Porlasztó tápegység
-
MSB sorozatú közepes frekvenciájú porlasztó tápegység
Az RHH sorozatú RF tápegység kiforrott RF generációs technológiára támaszkodik, hogy nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyorsabb válaszidejű RF tápegységet biztosítson az ügyfeleknek. Fázisbeállítással, impulzusvezérléssel, digitális hangolással és egyéb funkciókkal rendelkezik. Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, síkképernyős kijelzők ipar, félvezető ipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.
-
MSD sorozatú porlasztó tápegység
Az MSD sorozatú DC porlasztásos tápegység a vállalat alapvető DC vezérlőrendszerét alkalmazza, kiváló ívfeldolgozási sémával kombinálva, így a termék nagyon stabil teljesítményt, magas termékmegbízhatóságot, kis ívkárosodást és jó folyamatismételhetőséget biztosít. Kínai és angol kijelzőfelülettel rendelkezik, könnyen kezelhető.