TEL: +86 19181068903

RHH sorozatú RF tápegység

Rövid leírás:

Az RHH sorozatú rádiófrekvenciás tápegység kiforrott rádiófrekvenciás generálási technológián alapul, hogy az ügyfelek számára nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyors válaszadási képességű RF tápegységet biztosítson.Fázis állítható, impulzus vezérelhető, digitális hangolás és egyéb funkciók.Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, lapos kijelző ipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott vegyi gőzleválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.


Termék leírás

Termékcímkék

Küldjön e-mailt nekünk

Jellemzők

● Féltégla és állványos rögzítési stílusok
● Teljes digitális vezérlés, kényelmes és gazdag működési menüvel
● Frekvencia hangolás, impulzus és impulzus szinkronizálás funkciók
● CEX fázisszinkronizációs funkcióval
● Tökéletes védelmi funkció

Termék leírás

Bemenet Bemeneti feszültség: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (A speciális specifikációk testreszabhatók)
Bemeneti frekvencia: 47~63Hz
Kimenet Kimeneti frekvencia: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
Hangolási tartomány: ±5%
Kimeneti teljesítmény: 1,5-5 kW
Kimeneti teljesítmény szabályozási tartománya: 1-100%
Kimeneti impedancia: 50Ω+j0
Kimeneti interfész: N típusú
Kimeneti mód: folyamatos, impulzus
Impulzusfrekvencia: 100Hz ~ 100kHz
Üzemi ciklus: 5-95%
Teljesítményindex Teljesítménytényező: 0,98
Frekvenciastabilitási pontosság: ±0,005%
Hatékonyság: 75% (névleges teljesítményen)
Harmonikus: <-45dBc
Kóbor: <-50 dBc
Külső vezérlő interfész: analóg mennyiség, kommunikáció és szinkronizálás
Kommunikációs mód: Szabványos RS485 kommunikációs interfész;Opcionális Ether CAT, ipari Ethernet stb.
Megjegyzés: a termék folyamatosan újul, és a teljesítménye folyamatosan javul.Ez a paraméterleírás csak tájékoztató jellegű.


  • Írja ide üzenetét és küldje el nekünk

    Hagyja üzenetét