RHH sorozatú RF tápegység

Rövid leírás:

Az RHH sorozatú RF tápegység kiforrott RF generációs technológiára támaszkodik, hogy nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyorsabb válaszidejű RF tápegységet biztosítson az ügyfeleknek. Fázisbeállítással, impulzusvezérléssel, digitális hangolással és egyéb funkciókkal rendelkezik. Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, síkképernyős kijelzők ipar, félvezető ipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott kémiai gőzfázisú leválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.

Termék részletei

Termékcímkék

Küldjön nekünk e-mailt

Jellemzők

● Féltégla és állványra szerelhető kivitelek
● Teljes digitális vezérlést alkalmazzon kényelmes és gazdag kezelőmenüvel
● Frekvenciahangolás, impulzus és impulzusszinkronizációs funkciók
● CEX fázisszinkronizációs funkcióval
● Tökéletes védelmi funkció

Termék részletei

Bemenet	Bemeneti feszültség: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Speciális specifikációk testreszabhatók)
Bemenet	Bemeneti frekvencia: 47~63Hz
Kimenet	Kimeneti frekvencia: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Hangolási tartomány: ±5%
	Kimeneti teljesítmény: 1,5~5 kW
	Kimeneti teljesítmény szabályozási tartománya: 1~100%
	Kimeneti impedancia: 50Ω+j0
	Kimeneti interfész: N típusú
	Kimeneti mód: folyamatos, impulzus
	Impulzusfrekvencia: 100Hz~100kHz
	Kitöltési ciklus: 5~95%
Teljesítményindex	Teljesítménytényező: 0,98
	Frekvenciastabilitási pontosság: ±0,005%
	Hatékonyság: 75% (névleges teljesítményen)
	Harmonikus: <-45dBc
	Kóbor: <-50dBc
	Külső vezérlőinterfész: analóg mennyiség, kommunikáció és szinkronizáció
	Kommunikációs mód: Standard RS485 kommunikációs interfész; Opcionális Ether CAT, ipari Ethernet stb.
Megjegyzés: a termék folyamatosan fejlődik és a teljesítménye is folyamatosan javul. Ez a paraméterleírás csak tájékoztató jellegű.