RHH sorozatú RF tápegység
-
RHH sorozatú RF tápegység
Az RHH sorozatú rádiófrekvenciás tápegység kiforrott rádiófrekvenciás generálási technológián alapul, hogy az ügyfelek számára nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyors válaszadási képességű RF tápegységet biztosítson.Fázis állítható, impulzus vezérelhető, digitális hangolás és egyéb funkciók.Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, lapos kijelző ipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott vegyi gőzleválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.