RF tápegység
-
RLS sorozatú RF tápegység
Az RLS sorozatú rádiófrekvenciás tápegység a jelenlegi stabil és megbízható teljesítményerősítőt és a vállalat központi egyenáramú vezérlőrendszerét alkalmazza, így a termék nagyon stabil teljesítményt és magas termékmegbízhatóságot biztosít.Könnyen kezelhető kínai és angol kijelzőfelület.Főleg a fotovoltaikus iparban, a lapos kijelzőiparban, a félvezetőiparban, a vegyiparban, a laboratóriumban, a tudományos kutatásban, a gyártásban stb.
-
RMA Series Matchers
Alkalmazható az RLS sorozatú RF tápegységhez, és széles körben használják plazmamaratáshoz, bevonáshoz, plazmatisztításhoz, plazmamentesítéshez és egyéb folyamatokhoz.Egyedül használva más gyártók RF tápegységeivel együtt is használható.
-
RHH sorozatú RF tápegység
Az RHH sorozatú rádiófrekvenciás tápegység kiforrott rádiófrekvenciás generálási technológián alapul, hogy az ügyfelek számára nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyors válaszadási képességű RF tápegységet biztosítson.Fázis állítható, impulzus vezérelhető, digitális hangolás és egyéb funkciók.Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, lapos kijelző ipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.
Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott vegyi gőzleválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.