MSB sorozatú közepes frekvenciájú porlasztó tápegység

Rövid leírás:

Az RHH sorozatú rádiófrekvenciás tápegység kiforrott rádiófrekvenciás generálási technológián alapul, hogy az ügyfelek számára nagyobb teljesítményű, nagyobb pontosságú és gyors válaszadási képességű RF tápegységet biztosítson.Fázis állítható, impulzus vezérelhető, digitális hangolás és egyéb funkciók.Alkalmazható területek: fotovoltaikus ipar, lapos kijelző ipar, félvezetőipar, vegyipar, laboratórium, tudományos kutatás, gyártás stb.

Alkalmazható eljárások: plazmával fokozott vegyi gőzleválasztás (PECVD), plazmamaratás, plazmatisztítás, rádiófrekvenciás ionforrás, plazmadiffúzió, plazmapolimerizációs porlasztás, reaktív porlasztás stb.

Termék leírás

Termékcímkék

Küldjön e-mailt nekünk

Jellemzők

● Féltégla és állványos rögzítési stílusok

● Teljes digitális vezérlés, kényelmes és gazdag működési menüvel

● Frekvencia hangolás, impulzus és impulzus szinkronizálás funkciók

● CEX fázisszinkronizációs funkcióval

● Tökéletes védelmi funkció

Termék leírás

Bemenet	Bemeneti feszültség: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (A speciális specifikációk testreszabhatók)
Bemenet	Bemeneti frekvencia: 47~63Hz
Kimenet	Kimeneti frekvencia: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Hangolási tartomány: ±5%
	Kimeneti teljesítmény: 1,5-5 kW
	Kimeneti teljesítmény szabályozási tartománya: 1-100%
	Kimeneti impedancia: 50Ω+j0
	Kimeneti interfész: N típusú
	Kimeneti mód: folyamatos, impulzus
	Impulzusfrekvencia: 100Hz ~ 100kHz
	Üzemi ciklus: 5-95%
Teljesítményindex	Teljesítménytényező: 0,98
	Frekvenciastabilitási pontosság: ±0,005%
	Hatékonyság: 75% (névleges teljesítményen)
	Harmonikus: ＜-45dBc
	Kóbor: ＜-50 dBc
	Külső vezérlő interfész: analóg mennyiség, kommunikáció és szinkronizálás
	Kommunikációs mód: Szabványos RS485 kommunikációs interfész;Opcionális Ether CAT, ipari Ethernet stb.
Megjegyzés: a termék folyamatosan újul, és a teljesítménye folyamatosan javul.Ez a paraméterleírás csak tájékoztató jellegű.